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技術(shù)文章

環(huán)境掃描電子顯微鏡的工作原理介紹

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  環(huán)境掃描電子顯微鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡,結(jié)合了傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡(SEM)和環(huán)境控制技術(shù)。與常規(guī)掃描電子顯微鏡相比,它能夠在較高的氣壓下進(jìn)行成像,因此可以觀察到許多傳統(tǒng)掃描電鏡無(wú)法觀察的樣品,如含水樣品、生物樣品和某些濕氣或易揮發(fā)的物質(zhì)。
 
  環(huán)境掃描電子顯微鏡的基本工作原理與傳統(tǒng)的掃描電子顯微鏡類似,都是通過(guò)電子束與樣品相互作用,產(chǎn)生各種信號(hào)來(lái)進(jìn)行成像和分析。它在樣品表面周圍創(chuàng)建了一個(gè)可控的環(huán)境,使得樣品可以在較高的氣壓下進(jìn)行觀察,而不需要在真空環(huán)境中進(jìn)行。
 
  具體來(lái)說(shuō),環(huán)境掃描電子顯微鏡的工作流程包括以下幾個(gè)步驟:
 
  1、電子束產(chǎn)生
 
  電子束的產(chǎn)生是工作原理中的首要步驟。電子束通常由電子槍產(chǎn)生,該電子槍會(huì)加速電子至高能狀態(tài)。這些高能電子通過(guò)電磁透鏡聚焦成一個(gè)細(xì)小的電子束,并射向樣品表面。電子束在與樣品表面相互作用時(shí),會(huì)產(chǎn)生多種信號(hào),其中包括二次電子、背散射電子、X射線等,這些信號(hào)可以被探測(cè)器捕獲,從而形成樣品的圖像或獲取樣品的元素信息。
 
  2、樣品的環(huán)境控制
 
  傳統(tǒng)的掃描電鏡工作時(shí),樣品通常需要被置于高真空環(huán)境中,這樣能夠避免空氣分子與電子束發(fā)生干擾。然而,這樣的環(huán)境會(huì)導(dǎo)致一些濕度較高的或易揮發(fā)的樣品發(fā)生形變,甚至被破壞。而它能夠在一定氣壓和濕度條件下進(jìn)行樣品觀察。
 
  3、信號(hào)檢測(cè)與成像
 
  通過(guò)探測(cè)由電子束與樣品相互作用后產(chǎn)生的信號(hào),構(gòu)建出樣品的高分辨率圖像。常見(jiàn)的信號(hào)檢測(cè)器包括二次電子探測(cè)器、背散射電子探測(cè)器和X射線探測(cè)器等。通過(guò)這些探測(cè)器收集信號(hào),并經(jīng)過(guò)放大、轉(zhuǎn)換,最終呈現(xiàn)出樣品表面的圖像。
 
  環(huán)境掃描電子顯微鏡通過(guò)將樣品置于控制環(huán)境中,克服了傳統(tǒng)掃描電鏡中無(wú)法處理濕態(tài)和易揮發(fā)樣品的問(wèn)題。同時(shí)在環(huán)境控制和樣品保護(hù)方面有顯著的優(yōu)勢(shì),使其在生命科學(xué)、材料科學(xué)、地質(zhì)學(xué)、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

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